Question

pmol 33 ピコモル. 濃度を表す方式. 溶液1L中の溶質をモル数を使って表した単位1mol/L. その10(-12乗)mol=1pmol (cf. mmol,nmol) ウエハの位置を測定するためのアライメントマークＰＭＯＬ，ＰＭＯＲ，ＦＸＹ０１−ＦＸＹ０４を、レチクルを支持するレチクルステージＲＳＴＧ上に固定されたレチクル基準プレートＰＬに設けたアライメントマークパターンＰＭ，ＦＭを露光することによりウエハＷに形成する。

Accepted Answer

19875 ピコモル Alignment marks PMOL, PMOR, FXYO1-FXYO4 for measuring the position of the wafer are formed on the wafer W by exposing alignment patterns PM, FM, provided on a reticle reference plate PL fixed onto a reticle stage RSTG for supporting a reticle. 特許庁

Lemma	pmol
Rank	19875
Frequency	33
Japanese	ピコモル
Commentary	ピコモル. 濃度を表す方式. 溶液1L中の溶質をモル数を使って表した単位1mol/L. その10(-12乗)mol=1pmol (cf. mmol,nmol)
Example(eng)	Alignment marks PMOL, PMOR, FXYO1-FXYO4 for measuring the position of the wafer are formed on the wafer W by exposing alignment patterns PM, FM, provided on a reticle reference plate PL fixed onto a reticle stage RSTG for supporting a reticle.
Example(Jpn)	ウエハの位置を測定するためのアライメントマークＰＭＯＬ，ＰＭＯＲ，ＦＸＹ０１−ＦＸＹ０４を、レチクルを支持するレチクルステージＲＳＴＧ上に固定されたレチクル基準プレートＰＬに設けたアライメントマークパターンＰＭ，ＦＭを露光することによりウエハＷに形成する。
Source	特許庁

Alignment Wafer Reticle Pmol ピコモル 濃度を表す方式 溶液1l中の溶質をモル数を使って表した単位1mol/L その10( 12乗)Mol=1pmol

Alignment Wafer Reticle Pmol ピコモル濃度を表す方式溶液1l中の溶質をモル数を使って表した単位1mol/L その10( 12乗)Mol=1pmol